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此為步進式曝光機的外觀，晶圓由步進式曝光機側邊晶圓傳輸區自動送入曝光。

步進機的原理是將所要的積體電路結構圖形，先以1:5（或1:4）的放大比例製 ...： 。

[PDF] 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏。

亦稱為步進式曝光，而執行此種步進且重複曝光方式的曝光機稱為步進機 ... 感光劑（PAC）為光阻的感光成分，其主要原理大概可分為兩類，一為接受光源能量.： 。

曝光機- 維基百科，自由的百科全書。

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機（英語：stepper）或掃描式光刻 ...： 。

[PDF] Ch 6: Lithography。

曝光. Exposure. 顯影. Development ... 經由曝光製程將設計圖案轉移其上 ... 步進機. 晶圓移動. 方向. 晶圓. 中心軌道機器. 18. 經透鏡的繞射光. 由透鏡收集的繞.： 。

步進式曝光機優點 - 軟體兄弟。

步進式曝光機優點,2016年9月21日— 光罩曝光方式光學曝光機的光罩曝光方式分為「步進式(Step)」和「掃描式(Scan)」兩種，各有優缺點，目前晶圓廠裡都有在使用。

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[PDF] 第一章、緒論。

罩轉印圖樣原理，將各不同半導體電子元件相接連之。

... 如圖2.3 所示，代表性機台為步進對準曝光機。

... 式以單片晶圓進行，類似序列型的加工機台，但不同的是在.。

圖片全部顯示。

[PDF] 微型化步進式曝光系統- Lithographic Stepper System - 台灣儀器科技 ...。

2020年9月22日 · www.tiri.narl.org.tw. 本系統由國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心自主研發及製造。

儀科中心. 提供曝光機光學設計、機構設計、精密光學元件製作與 ...： 原理? 。

什么是步进扫描光刻机？国产光刻机与ASML差距多大？ - 网易。

2019年12月2日 · 步进式扫描光刻机的工作原理是，单场曝光采用动态扫描方式，即掩模板相对晶圆同步完成扫描运动；完成当前曝光后，晶圆由工作台承载步进至下一步扫描场 ...： 。

光罩。

中華凸版及母公司-凸版印刷不斷投資電子束描繪機台，擁有先進的EBM6000 ... 製造過程中，在光罩的圖案被微縮並且多次在矽晶圓上曝光而步進機( 例如，微縮投影型曝光機) ...： 式